压力传感器是一种将压力转换成电信号并输出的装置,主要由将压力转换成电信号的压力敏感元件和处理电信号的信号处理装置组成。压力传感器有MEMS、电阻式、电容式、压电式和光学式等多种类型,广泛应用于各种设备中。
美蓓亚三美使用 MEMS 技术和应变片技术来制造压力传感器,其特点是接口的输出格式也分为模拟和数字两种。此外,MEMS压力传感器具有更小的量程,可用于-50kPa-50kPa的领域。
二、MEMS压力传感器的应用
MEMS压力传感器可用于血压计和其他医疗设备的袖带压力测量,也可用于燃气表泄漏检测、异常压力检测和燃料供应压力检测。主要的应用领域如下所示。
1、自动化工厂中的压力传感器
工厂自动化行业使用 MEMS 压力传感器的一种方式是控制工厂所用设备的气压(气体压力)和液压,并利用测量到的信息进行适当的设备操作。
有些机器手也是利用压力的 "吸力型 "设备,可以通过 MEMS 压力传感器进行精细控制,在不损坏产品的情况下处理要抓取的产品。
2、血压计用压力传感器
美蓓亚三美作为主要的血压计用压力传感器供应商,在日本本土及海外都设有生产基地,生产的MEMS 压力传感器已应用于多种血压计。
3、汽车行业 压力传感器被安装在汽车内部的各种环境中,并根据不同条件进行封装。如在发动机控制中,压力传感器被安装在进气、排气、汽油罐等部位用于检测气体和液体。此外,为防止电动汽车使用的锂电池出现热失控,使用压力传感器的电池监测技术正在不断开发。
MEMS压力传感器结合了半导体技术和传感器技术,将电子电路和机械元件集成为一个独立组件,使产品 "更小、更轻、更精密",在提升设备性能和便利性,促进设备小型化和轻量化等方面发挥了重要作用。