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美蓓亚三美集团旗下三美电机株式会社(以下简称“三美电机”)正式发布数字输出风量传感器“MMS651系列”。该产品采用基于MEMS技术的小型热式流量传感器,实现了高精度的测量能力。
近年来,在数据中心的服务器冷却、智能楼宇的空调管理(HVAC/VAV)、洁净室的风机过滤单元(FFU)等应用中,为实现能源效率的优化及严格的环境维持,对更高精度的风量/风速管理提出了需求。
此次推出的“MMS651系列”与以往的风量/风速传感器相比,具备更优异的高精度测量能力,同时在小尺寸封装的基础上采用连接器接口,提升了安装的灵活性。
产品阵容包括适用于洁净室下送风等微风测量的“3 m/s型号(MMS651P003N1)”,以及适用于空调风管、风机控制等广泛用途的“10 m/s型号(MMS651P010N1)”,共两种类型,可根据客户的具体应用场景提供解决方案。
特点与概要
1. 实现高精度测量
通过超小型MEMS热式流量传感器芯片与补偿校正技术的结合,实现了相比同类产品更高的测量精度和温度稳定性。
• MMS651P010N1(10 m/s型号):风速4 m/s以上为±5 %R.D.(注1);风速低于4 m/s为±2 %F.S.(注1)
• MMS651P003N1(3 m/s型号):风速0.3 m/s以上为±3 %F.S.
• 温度变化影响:±2 %F.S./10 ℃
详情请参见下方规格表。
2. 小型封装及高安装自由度
实现22.5(W)×21(D)×7(H)mm的小型尺寸。无需准备专用基板或配管,通过连接器接口即可安装和布线至风管或设备外壳。
3. 数字输出,易于系统集成
采用I2C接口。传感器内部执行补偿运算(温度补偿、线性度补偿),将风速值直接以数字量输出,有助于降低客户侧MCU的负载,缩短开发周期。
4. 独特流路设计,高可靠性
采用在主通道内另设测量流道的结构,减少灰尘进入检测单元(MEMS),确保长期可靠性。
(注1)“F.S.”表示满量程(Full Scale),“R.D.”表示读数(Reading)。
%F.S.:相对于测量范围内风速最大值的百分比(例如:测量最大值10 m/s、精度±2 %F.S.时,误差在±0.2 m/s以内)。
%R.D.:相对于输出值的百分比(例如:精度±5 %R.D.、输出风速5 m/s时,误差在±0.25 m/s以内)。
主要应用
• HVAC(空调系统)、VAV(变风量装置)
• 风机过滤单元(FFU)
• 数据中心(服务器冷却管理)
• 过滤器堵塞检测
•其他利用风量或风速的各种工业设备
产品照片

产品规格
| 项目 | MMS651P010N1 | MMS651P003N1 |
| 测量范围 | 0 m/s ~ 10 m/s | 0 m/s ~ 3 m/s |
| 适用介质 | 空气 | 空气 |
| 精度(注2) | ±5 %R.D.(4 m/s ~ 10 m/s) | ±3 %F.S.(0.3 m/s ~ 3.0 m/s) |
| 精度(注2) | ±2 %F.S.(0 m/s ~ 4 m/s) | ±7 %F.S.(0.0 m/s ~ 0.3 m/s) |
| 温度变化影响(注2) | 2 %F.S./10 ℃ | - |
| 电源电压范围 | 3.0 V ~ 3.6 V | 3.0 V ~ 3.6 V |
| 工作温度范围 | -10 ℃ ~ 60 ℃ | -10 ℃ ~ 60 ℃ |
| 响应速度 | < 90 ms | < 90 ms |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit |
| 接口 | I2C | I2C |
| 尺寸 | 22.5(W)×21(D)×7(H)mm | 22.5(W)×21(D)×7(H)mm |
(注2)测量条件:25 ℃、101.3 kPa干燥空气、Vcc 3.3 V