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基础设施

美蓓亚三美的散热风扇、杆端关节轴承、步进电机、滚珠轴承等产品在光伏逆变器、储能变流器、基站天线、风力发电、监控摄像头、铁路车辆、充电桩等新型基础设施建设领域有广泛应用。步进电机实现了正确定位和精确的角度控制。针对风电、光伏、充电桩、储能等多种场景,美蓓亚三美的NMB风扇提供防水防尘的散热解决方案。杆端轴承和球面轴承作为关键的机构零件在高温高湿环境下仍然表现着卓越的高可靠性和耐久性。

机器人

随着产业升级,机器人的智能化研发面临更多的挑战。美蓓亚三美的散热风扇、无刷直流电机、6轴力传感器、锂离子电池IC、滚珠轴承可应用于机器人手、AGV、工业机器人、教育机器人等领域,帮助实现机器人的智能化和高效化。

工业及商业

美蓓亚三美的微型滚珠轴承、电机产品、传感器广泛应用于各种工业设备和商业设备的控制定位、送风、搬运、旋转装置等部位。此外,电动工具中也大量使用了NMB微型滚珠轴承。

家电、消费电子及住宅设备

消费者与智能家居、穿戴电子、家电、智能设备之间的联系愈发紧密。美蓓亚三美为行业领先的消费电子和家电制造商提供优质的滚珠轴承、电机、锂离子电池芯片、开关、线性马达、相机马达等零部件。

医疗健康

美蓓亚三美向医疗器械制造商、医疗保健设备生产商提供电机、传感器、微型滚珠轴承等零部件,产品可应用于实验室自动化、医用泵、呼吸道护理、药房自动化、成像和许多其他医疗设备应用中,为医疗保健设备制造提供品质稳定、可信赖的零部件。

交通工具

美蓓亚三美的杆端轴承、球面轴承和紧固件被大量使用于飞机、列车等交通工具中。 美蓓亚三美的飞机用杆端轴承和球面轴承在英国、美国、泰国和日本等地制造,是唯一一家能以高品质产品满足欧洲、美洲和亚洲三个地区航空航天产品客户高标准要求的制造商。

汽车

美蓓亚三美在过去的几十年间致力于向各大整车厂、Tier1提供车规级可靠的零部件。 美蓓亚三美紧跟汽车制造业的设计创新和技术进步的步伐,助力汽车设计工程师们不断地迎接汽车行业电动化、自动化、共享、互联趋势所带来地新挑战。
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MEMS微型机械电子系统

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MEMS微型机械电子系统
147
2024-01-29

随着产品小型化、智能化、集成化的发展,如何让产品功能超群的同时降低成本成为了新的难题。MEMS作为解决方法之一,进入了人们的视野。

什么是MEMS?

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)即微机电系统,通过基于半导体集成电路制作发展而来的微细加工技术,在硅或玻璃等薄基板上制作数十微米的运动部件和三维部件(如齿轮)。该系统不仅包含电路,还有微小的柱子和薄膜等微结构,并将执行器和传感器等机械及电子部件集成在单个芯片上。

MEMS微型机械电子系统

 

MEMS的基本构成

MEMS采用三维结构制作,将电子电路和机械元件(如传感器和执行器)内置到半导体基板上。通过将独立部件组合到芯片中制成微米级智能系统,可以实现设备的小型化和集成化,使产品更小更轻。

MEMS的基本构成要素有:传感器、执行器、电路及其它辅助类元件。

MEMS微型机械电子系统

传感器:将压力、磁力、静电或热量转换成电信号

执行器:将能量转换成某种机械动作

电路:放大/补偿元件输出信号或将模拟信号转换为数字信号

辅助元件:发热元件、导电电极、晶体振荡器等,相互作用以实现复杂的加工。

 

MEMS传感器

MEMS传感器与传统传感器基本相同,但它将电子电路和机械元件集成为一个独立组件,使产品 "更小、更轻、更精密"。

MEMS传感器可集成在检测加速度、压力、温度等传感器以及智能手机的麦克风和扬声器中,在提升设备性能和便利性,促进设备小型化和轻量化等方面发挥了重要作用。

1、压力传感器

使用MEMS的压力传感器主要有两种:使用压电电阻元件作为感压元件的“压电电阻式”和通过电极检测静电容量变化的“静电容量方式”。两种传感器都是通过薄膜(称为膜片)的偏转来测量压力。

 

MEMS微型机械电子系统

使用MEMS芯片的压力传感器

A:传感器控制IC           B:MEMS压力传感器

数字式传感器在单个封装模块内装有传感器和处理传感器信号的控制IC (AFE)。模拟式传感器不包括传感器控制IC。

 

2、流量传感器

使用MEMS的美蓓亚三美流量传感器有三种:测量上下游压差的传感器、测量流量的传感器和测量风速的传感器,主要特点为小型化和数字输出。小型化可以提升产品设计自由度;数字输出可以实现快速响应、高精度和高分辨率。

MEMS微型机械电子系统

 

除了具有体积小、重量轻、集成化等特点外,MEMS还具有出色的生产效率。它可在一片晶圆上同时制造多种产品,易于大规模生产。MEMS传感器技术已应用于气味检测、基因分析、机器人、医疗、汽车等多个领域,为各个领域带来了技术革新。

 

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