从智能手机到新能源汽车,MEMS元件应用于各行各业,并有逐渐取代现有零部件的趋势。尤其在汽车领域,采用MEMS技术制作的传感器不仅用于燃油车,在电动汽车上也不可或缺。其中备受瞩目的无人驾驶技术,就需要大量使用MEMS技术制作的元件来实现。
用途1、燃油汽车用MEMS传感器
燃油汽车上使用了很多MEMS传感器。在发动机控制中,各种MEMS压力传感器被用来检测气体和液体。压力传感器被安装在各种环境中,并根据不同条件进行封装。
用途2、电动汽车用MEMS传感器
在燃油车向电动汽车转变的过程中,车载信息娱乐系统也朝着多元化、智能化方向发展,为驾驶者提供数据智能分析、智能语音、车内环境检测等个性化服务。以MEMS传感器为首的多个MEMS元件成为支撑该系统的重要部件。
(1)导航系统
导航系统使用加速度传感器、陀螺仪传感器、地磁传感器等各种MEMS传感器,与汽车的运动联动,在屏幕上显示各种信息。加速度传感器还被用在安全气囊上。当汽车与其它物体发生碰撞时,加速度传感器可以读取冲击力,使安全气囊膨胀。
(2)音响系统
MEMS 扬声器具有紧凑、轻量和节能的特点,越来越多地用于车载环绕声系统。将其配置在车内的座椅、顶篷、车门等处,能提供强劲的三维音效。即使安装数量增加,也不会增加占用空间,与传统的扬声器负载相比,还能减轻车辆的重量。
(3)车内环境检测
随着自动驾驶技术的发展,车内环境也将成为关注的焦点。车内空气质量(如二氧化碳浓度)的可视化也将变得更加重要,预计 MEMS 传感器将被用于这种测量。此外,为创造更舒适的车内环境,气味传感装置及其它相关装置的研发也在不断开展。未来会有更多种类的MEMS元件应用到汽车上。
在迎来CASE时代的汽车领域,美蓓亚三美可提供各种MEMS元件。在无人驾驶技术中, “激光雷达”是实现自动驾驶的重要一环,其使用的“MEMS镜“由美蓓亚三美提供。
在围绕自动驾驶进行的各种研究和实验中,“激光雷达(Light Detection And Ranging)”技术备受关注。该技术利用激光照射周围物体进行二维或三维传感,感知物体的形状和运动。以往激光雷达使用电机,目前正在开发使用 MEMS 镜片的激光雷达,以实现设备小型化。
除了传统电机和 MEMS 设备外,美蓓亚三美还开发了 LATM(Limited Angle Torque Motor)。这是一种基于独特磁路设计的旋转往复式执行器,可实现对激光雷达镜面角度的高速、高精度控制,为汽车驾驶的智能化、自动化发展提供技术助力。